中国EUV光源技术实现重大突破!光刻胶板块迎发展新契机
2025-05-01
中国科学院上海光机所林楠团队在EUV光源技术取得重大突破,开发出能量转换效率达3.42%的LPP-EUV光源,打破国际垄断,推动中国7nm以下先进制程发展。虽然EUV光刻胶等关键领域仍存差距,但技术突破提振了半导体产业链信心,尤其为光刻胶国产化提供技术支撑。


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